等离子体是一种高度电离气体，其中包含正、负离子和自由电子，能量十分充足。可以通过多种方式产生，如弧放电、辉光放电、放电等离子体、微波放电等。等离子体具有高温、高密度、高化学活性和强烈的辐射等特性。
等离子处理机运用了等离子体的特性，在特定条件下通过高频交流电源来产生等离子体，然后将等离子体按照一定的方式引导到材料表面进行处理。可以通过电离气体产生高能电子，从而激发气体分子与材料表面发生反应，形成新的化学键或者改变表面晶体结构，达到提高材料硬度、耐磨性、降低摩擦系数等效果。主要用于提高材料表面的耐腐蚀、耐磨损、附着力和界面黏合力等性能。通过等离子体所带有的高能量、高电荷密度、高反应活性和局部加热作用，实现表面处理。在等离子体作用下，表面原子或分子被剥离、氧化、还原或聚合等反应，进而形成新的碳氢键和键链结构，从而改变材料表面物理和化学性质。
| 等离子处理机PLUTO-MH参数： |
| 真空腔尺寸 | 316不锈钢腔体，q210mm*230mm（约4L） |
| 电极尺寸 | 两个自适应平板电极，材质T6061铝合金（可提供特氟龙包覆无孔平板电极， 合需要双面处理样品） 125*125mm间距20-75mm 可调（可反转） |
| 等离子体发生器 | RF射频发生器，频率：13.56MHz；自适应阻抗匹配电源 |
| 功率 | 0-500W连续可调，精度1W |
| 气体控制 | 针式气体流量阀，标配1路气体，全不锈钢管道和连接件 |
| 控制方式 | 4.3寸工业控制触摸屏
控制软件功能：界面显示实时工作状态，可显示设置值与实际值，便于实时控制。可自由设置等离子功率，通入气体时间多级操作权限，多种工艺参数组合控制，全手动控制和全自动控制可选 |
| 保护装置 | 一键急停保护按钮 |
接下来介绍等离子处理机的具体操作步骤：
1.先将要进行处理的材料进行清洁，以确保无附着物影响处理效果。然后将材料置于处理室内，并关闭气密门。
2.为了产生等离子体环境，需要对处理室进行真空处理，使其中的气压达到一定的范围。这样才能避免由于氧气、水蒸汽等气体的存在对处理效果的影响。
3.通过引入不同种类的气体，可以控制等离子体的成分和特性，如氮气等可增强材料表面的硬度，氢气等则可使材料透明。加入气体的方法包括导流和喷浆两种。
4.高频电源通过钨丝等电极，在处理室内产生高频电场，从而引出等离子体。
5.根据不同的工艺要求和材料特性，通过调整电场、气态分布和处理室温度等条件，实现对材料表面的处理。
6.工作结束后的清理。处理结束后，需要关闭高频电源并排放处理室，然后取出处理后的样品进行分析评价。
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