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随着科技的飞速发展,半导体产业已经成为全球竞争的焦点。在这个领域,刻蚀技术作为半导体制程中的关键一环,一直备受关注。近年来,我国在半导体产业的发展上取得了显著的...
[查看详情]一、介绍等离子清洗机是一种广泛应用于表面处理和清洁的设备,它利用等离子体的高能和高活性来处理材料表面,从而达到清洗、活化、增强附着力的效果。在众多领域中,如半导体、电子、汽车、航空航天等,等离子清洗机都发挥着重要作用。近年来,随着国内制造业的快速发展,对等离子清洗机的需求也在不断增加,因此,理解并掌握国产等离子清洗机的基本知识变得尤为重要。二、国产等离子清洗机的基本原理它的工作原理主要是通过产生等离子体来处理材料表面。等离子体是一种由电子、离子、自由基和中性粒子组成的高温、高...
[查看详情]应用案例
等离子清洗特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等都能很好地进行超清洗。
图为PLUTO-T等离子清洗机对陶瓷基板上银氧化层的清洗实例。
等离子清洗机可用于晶圆或者电路板表面的光刻胶去除,以及去除光学元件、半导体元件表面的光阻材料等。
图为PLUTO-MD等离子去胶机对PCB板和硅片的去胶实例。
改善粘合力-用于光学元件、生物医学、封装领域等;
表面改性-用于高分子材料表面修饰、PDMS微流控芯片键合、玻璃等,增强表面粘附性、浸润性、相容性;
图为PLUTO-M对线路板、橡胶管和手机膜的表面改性实例。
等离子刻蚀是干法刻蚀中常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。