产品中心
合作案例
新闻中心
小型等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行表面清洗的设备。其主要原理是通过高频电场激发气体形成等离子体,将放电所产生的等离子体束聚焦于目标物表面,使得目标物表面...
[查看详情]等离子体是一种高度电离气体,其中包含正、负离子和自由电子,能量十分充足。可以通过多种方式产生,如弧放电、辉光放电、放电等离子体、微波放电等。等离子体具有高温、高密度、高化学活性和强烈的辐射等特性。等离子处理机运用了等离子体的特性,在特定条件下通过高频交流电源来产生等离子体,然后将等离子体按照一定的方式引导到材料表面进行处理。可以通过电离气体产生高能电子,从而激发气体分子与材料表面发生反应,形成新的化学键或者改变表面晶体结构,达到提高材料硬度、耐磨性、降低摩擦系数等效果。主要用...
[查看详情]应用案例
等离子清洗特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等都能很好地进行超清洗。
图为PLUTO-T等离子清洗机对陶瓷基板上银氧化层的清洗实例。
等离子清洗机可用于晶圆或者电路板表面的光刻胶去除,以及去除光学元件、半导体元件表面的光阻材料等。
图为PLUTO-MD等离子去胶机对PCB板和硅片的去胶实例。
改善粘合力-用于光学元件、生物医学、封装领域等;
表面改性-用于高分子材料表面修饰、PDMS微流控芯片键合、玻璃等,增强表面粘附性、浸润性、相容性;
图为PLUTO-M对线路板、橡胶管和手机膜的表面改性实例。
等离子刻蚀是干法刻蚀中常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。