产品中心
合作案例
新闻中心
台式真空等离子清洗机的应用范围非常广泛,如半导体芯片、LED芯片、MEMS元件、薄膜太阳能电池等微型器件。在这些器件的制造过程中,往往需要对表面进行清洁、去除杂...
[查看详情]随着现代工业技术的快速发展,对于物体表面清洁度的要求也越来越高。国产等离子清洗机以其高效、环保的特点,在众多领域中得到了广泛应用。国产等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行表面清洁的设备。它采用等离子发生器,通过产生高能量的等离子体,对物体表面进行快速清洁。这种清洁方式不仅能够有效去除各种类型的污垢和沉积物,还能深入微观结构,对复杂形状的零件实现均匀清洗。与传统的化学清洗方式相比,等离子清洗更加高效、环保,且不会对物体表面造成损伤。它具有多种优势。首先,它采用进口高精度控制系...
[查看详情]应用案例
等离子清洗特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等都能很好地进行超清洗。
图为PLUTO-T等离子清洗机对陶瓷基板上银氧化层的清洗实例。
等离子清洗机可用于晶圆或者电路板表面的光刻胶去除,以及去除光学元件、半导体元件表面的光阻材料等。
图为PLUTO-MD等离子去胶机对PCB板和硅片的去胶实例。
改善粘合力-用于光学元件、生物医学、封装领域等;
表面改性-用于高分子材料表面修饰、PDMS微流控芯片键合、玻璃等,增强表面粘附性、浸润性、相容性;
图为PLUTO-M对线路板、橡胶管和手机膜的表面改性实例。
等离子刻蚀是干法刻蚀中常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。