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电子科技大学采用Pluto-MD等离子去胶机进行晶圆去胶

发表时间:2023/3/16 9:42:48

电子科技大学已采购多台等离子设备,包括PLUTO-T等离子清洗机,PLUTO-MD等离子去胶机等,用户反馈良好。

主要涉及的应用有:晶圆光刻胶的去除、电子半导体样品表面有机物的去除、多功能微纳结构宽带吸收器的表面处理等等。


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