PLUTO-80等离子清洗机/表面处理系统是专为研发而设计的全功能等离子体系统，13.56MHz射频发生器和自动匹配网络电源在整个过程区域产生均匀的等离子体。Pluto80的真空腔可支持多达7个可调节样品架，以容纳各种形状尺寸的样品。Pluto80具有多种电极设置，可配置成RIE和PECVD模式，从而扩大了该系统的应用范围，提供给用户良好的灵活性。

PLUTO-160等离子体表面处理仪/清洗机是一款为工业级客户和研发型客户使用需求设计的宽泛使用等离子表面处理设备，适用于等离子清洗，活化以及刻蚀等多种应用，设备可在严苛环境下稳定运行，获得高度均一的使用效果。