咨询热线

18049905701

当前位置:首页  >  技术文章  >  等离子刻蚀机是基于等离子体物理原理的微纳加工设备

等离子刻蚀机是基于等离子体物理原理的微纳加工设备

更新时间:2024-04-22      点击次数:595
  等离子刻蚀机是基于等离子体物理原理的微纳加工设备,等离子体是由高能粒子(如电子)与气体分子碰撞而产生的高能量、高密度的气体态物质。工作时,首先将待加工材料置于真空室中,并通过高频辐射场或外加电压产生的放电使气体分子形成等离子体。在等离子体的作用下,高能离子与反应气体中的分子、原子相互作用,从而对材料表面进行化学反应或物理剥离,实现微小结构的制备与加工。
 
  根据剥离方式的不同,等离子刻蚀机被分为两大类:湿法刻蚀和干法刻蚀。其中,常见的干法刻蚀方式是低温等离子体刻蚀(LPE)、高功率密度等离子体刻蚀(HDP)和反应性离子刻蚀(RIE)。具体来说:低温等离子体刻蚀(LPE):在气体流过工件的过程中形成等离子体,利用等离子体中的高能粒子对材料表面进行物理剥离。
 
  高功率密度等离子体刻蚀(HDP):将待加工的硅片浸泡在含有离子源和氧化物的气体混合物中,通过微波辐射生成等离子体,然后使其沉积在硅片表面形成硅酸盐。反应性离子刻蚀(RIE):通过在溅射系统中施加强电场、强磁场或者两者结合的方式,在等离子体与反应气体相互作用的过程中实现材料的化学反应,并以此来实现微纳米结构的制备和加工。
 
  等离子刻蚀机可以非常准确地削除材料表面的微小结构,所以它在半导体器件制造和纳米科技领域都有着广泛的应用。比如在集成电路制造中,可以用来打开、连接、分离、结构化和排列各种不同类型的材料;在生物医学领域,可以用来制备微型药品输送器、基因芯片、生物探针等微小装置。
 

等离子刻蚀机

 

  • 公司地址:上海市康桥东路1369号C栋220
  • 公司邮箱:1399511421@qq.com
  • 公司传真:
400-1521-605

销售热线

在线咨询
  • 微信公众号

  • 移动端浏览

Copyright © 2024 上海沛沅仪器设备有限公司版权所有   备案号:沪ICP备19029303号-2    sitemap.xml    技术支持:化工仪器网   管理登陆