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国产等离子刻蚀机是干法刻蚀中常见的一种设备

更新时间:2024-03-15      点击次数:348
  国产等离子刻蚀机是干法刻蚀中常见的一种设备,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。
 

国产等离子刻蚀机

 

  国产等离子刻蚀机的操作步骤:
 
  1.确保各个部件已经安装完毕,并且连接好电源和气源。
 
  2.打开开关,启动电源。
 
  3.设定工作参数,包括刻蚀深度、刻蚀时间、气体流量等。
 
  4.将待刻蚀的样品放入样品台上,并将样品台固定好。
 
  5.关闭电源开关,打开真空泵开关,开始抽真空。
 
  6.抽真空到设定的压力后,打开刻蚀气体开关。
 
  7.根据设定的刻蚀参数,进行刻蚀。
 
  8.刻蚀结束后,关闭刻蚀气体开关,打开气阀,释放气体。
 
  9.关闭真空泵开关,等待真空释放完毕。
 
  10.将刻蚀好的样品取出,进行后续处理。
 
  国产等离子刻蚀机的维护保养方法:
 
  1.定期清洁内部和外部,包括样品台、刻蚀室等部件。
 
  2.检查并清洁真空泵和气体传输管道,保持其正常工作。
 
  3.每次使用后,及时清理刻蚀液,避免其堆积引起问题。
 
  4.定期检查各个零部件,如电机、夹持装置等,确保其正常运转。
 
  5.定期更换耗材,如刻蚀室和真空泵的密封圈,防止漏气和损坏。
 
  6.长时间不使用时,关闭电源和气源,进行防尘封存,以保护设备。
 
  7.如果发现出现故障或异常,应及时联系售后服务进行维修。
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