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等离子清洗机的流量控制器如何选择

更新时间:2023-10-12      点击次数:519
  常压大气型等离子清洗机通常会选用带有流量控制器的专用气源来为设备提供稳定的工艺气体,而低压真空型的等离子清洗机则会使用质量流量控制器来实现对通入工艺气体的流量控制,其中低压真空型等离子清洗机的流量控制范围通常在0~50SCCM、0~500SCCM之间,不过随着等离子清洗机的规格大小流量控制范围也会有一定的区别,例如一些大型的低压真空等离子清洗机也会使用到0~1SLM规格的质量流量控制器。那么我们该如何具体地根据等离子清洗机的实际情况,来选择流量控制器呢?
  选择流量控制器的理由
  因为在等离子清洗机中通入的工艺气体可能存在着不同,所以在选择时也建议采用相应的气体专用质量流量控制器,以保证输入气体能够有着稳定的计量。之所以要选择专用的流量控制器,这是因为根据所使用的工艺气体不同也意味着气体分子的大小不同,再加上其化学性质的差异也很大,在这种情况下,如果使用相同规格的流量控制器就会产生一定的流量误差以及安全隐患。
  另外,如果使用的是常规工艺气体,就可以选择一种气体作为标准,在这里只需要保障气体流量的稳定性。而需要注意的是,如果使用的如氢气、四氟化碳这类特殊气体或其他易燃易爆、具有腐蚀性的工艺气体,就一定要使用专用的质量流量控制器设备。
  选择浮子流量计的原因
  实验型低压真空等离子清洗机,它是一种全手动操作的设备,但同时对于流量控制要求不算严苛,一般会使用到手动浮子流量计。
  在低压真空等离子清洗机中需要保证真空的反应腔体压力的稳定,所以在选用好适合的气体流量控制器后,还应该注意到气管接头的选用。通常来说我们会使用到快拧接头或卡套接头作为气管接头,以保证工艺气体真空管路的密封性。
  而当处理的是一些特殊材料时,可能会把液态单体作为一种放电介质,这时就一定要使用手动浮子流量计作为流量控制器。对于带腐蚀性的液态单体则需要使用防腐型的浮子流量计,而对真空环境要求较高的则建议使用高密封性的浮子流量计。
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