等离子清洗机的操作流程复杂吗?

 

一、操作前准备（5分钟搞定，安全第一）

 

安全检查：

 

确认仪器接地良好（避免漏电），电源电压符合额定要求（如AC220V±10%）；

 

检查气体管路（如氩气、氧气、氮气）是否连接紧密，无泄漏（可通过肥皂水涂抹接头处检测，无气泡则正常）；

 

打开通风橱（若处理挥发性样品）或排气装置，避免等离子体反应产生的少量气体污染环境。

 

样品准备：

 

将待清洗样品（如芯片、玻璃、塑料件、金属件）表面的大块杂质（如灰尘、油污）提前清理（用无水乙醇擦拭后晾干），避免杂质影响清洗效果；

 

把样品固定在样品架上，确保样品表面无遮挡（等离子体需均匀覆盖），且样品架放置在反应腔中心位置（避免靠近电极）。

 

耗材与环境确认：

 

检查气体钢瓶压力（通常需保持0.2-0.5MPa），确保气体充足；

 

确认反应腔门密封垫干净无破损（保证真空密封效果），实验环境无强烈振动或粉尘（避免影响仪器运行）。

 

二、核心操作步骤（智能化设置，无需手动干预）

 

启动仪器与真空抽气：

 

打开仪器总电源，启动控制系统（部分机型为触摸屏操作），选择“手动模式”或“自动模式”（新手推荐自动模式，内置常用清洗参数）；

 

关闭反应腔门，按下“抽真空”按钮，仪器自动启动真空泵，将反应腔内压力抽到设定真空度（通常10-100Pa，依样品类型调整），抽气完成后仪器会自动提示（指示灯亮或蜂鸣）。

 

气体通入与参数设置：

 

选择清洗气体类型（如清洗油污用氧气、表面活化用氩气、复合清洗用氩气+氧气），设置气体流量（通常10-50sccm，流量过大易破坏真空，过小则等离子体浓度不足）；

 

设置清洗参数：

 

功率（50-300W，硬质样品选高功率，软质/热敏样品选低功率）；

 

清洗时间（30秒-10分钟，轻度污染选短时间，深度清洗选长时间）；

 

部分机型支持“分段参数”（如先低功率预处理，再高功率清洗），可按需设置。

 

启动等离子体清洗：

 

参数确认无误后，按下“开始清洗”按钮，仪器自动执行流程：先维持气体流量和真空度稳定，再启动射频电源产生等离子体（反应腔内会出现微弱辉光，属于正常现象）；

 

清洗过程中，屏幕实时显示真空度、气体流量、功率、剩余时间等参数，无需手动调整，若出现异常（如真空度不达标、气体泄漏），仪器会自动报警并停机。

 

三、操作后收尾（3分钟完成，保护仪器+样品）

 

停止清洗与泄压：

 

清洗时间结束后，仪器自动关闭射频电源和气体阀门，进入“泄压”流程（向反应腔内通入少量惰性气体，如氮气，平衡内外压力）；

 

泄压完成后（反应腔内压力恢复至大气压），仪器提示“操作完成”，此时方可打开反应腔门。

 

取出样品与检查：

 

戴手套取出样品，观察样品表面状态（如是否干燥、无残留，表面张力是否提升，可通过水滴接触角测试验证清洗效果）；

 

若需连续处理多个样品，可重复“样品准备→抽真空→清洗”步骤，无需关闭仪器总电源。

 

仪器关机与维护：

 

所有样品处理完成后，关闭气体钢瓶阀门，按下“真空泵停止”按钮，待真空泵完全停机后（避免真空泵返油），关闭仪器总电源；

 

用干净抹布擦拭反应腔门密封垫和样品架，清理反应腔内的少量粉尘（若有），保持仪器清洁，延长使用寿命。

 

等离子清洗机的操作流程标准化、智能化，全程以 “按钮操作 + 参数设置” 为主，无需复杂的机械调节或化学知识，新手 10 分钟即可掌握基本操作。其 “复杂度” 主要体现在 “参数选择”（如不同样品对应不同气体、功率、时间），而非操作步骤本身 —— 只要根据样品材质（硬 / 软、耐温性）和清洗目的（除油、活化、刻蚀）选择合适参数，就能实现高效清洗。