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关于等离子刻蚀机您了解多少?

更新时间:2024-03-15       点击次数:868
  等离子刻蚀机利用气体放电生成的等离子体对材料表面进行刻蚀。在高频电场作用下,气体分子离子化并形成等离子体,在等离子体中产生的活性粒子(如离子、自由基等)与材料表面发生化学反应,将材料表面的原子或分子去除,从而实现对材料的刻蚀,可分为干法刻蚀机和湿法刻蚀机两种类型。干法刻蚀机主要利用等离子体刻蚀,而湿法刻蚀机则利用液体溶液对材料表面进行刻蚀。
 
  等离子刻蚀机包含主体腔体、真空系统、气体输送系统、供气系统、高频电源、控制系统等组成。主体腔体为反应腔体,用于放置待刻蚀物。真空系统通过抽气将腔体内的气体抽空,以创建适合刻蚀反应的低压环境。气体输送系统用于引入所需的刻蚀气体,供气系统用于维持刻蚀反应所需的气体压力。高频电源提供刻蚀过程所需的电场能量。控制系统用于控制刻蚀机的运行和参数设置。
 
  等离子刻蚀机是一种常用的表面处理设备,用于去除材料表面的污染物、氧化层、光刻胶等,以及刻蚀微细结构。
 
  1.将待处理的衬底或器件放置在样品台上,并使用真空吸附或磁吸等方式固定。
 
  2.打开真空抽气系统,将刻蚀室内的气体抽出,建立高真空环境。
 
  3.根据需要选择合适的刻蚀气体,如氟化氢、氯气等,并通过进气阀将气体充注至刻蚀室。
 
  4.通常会经过气体预处理系统,对刻蚀气体进行预处理,如过滤掉杂质、提高纯度等。
 
  5.通过高频电源产生高频电场,在刻蚀室内产生强烈的电浆(等离子体)。
 
  6.刻蚀气体进入刻蚀室后,与等离子体相互作用,产生化学反应。等离子体中的电子、阳离子和中性粒子穿梭于衬底表面,击碎、剥离或溶解表面杂质和氧化层。
 
  7.通过调节刻蚀时间、刻蚀气体的流量、功率等参数,控制刻蚀过程的速率和深度。
 
  8.在刻蚀过程中,刻蚀室内会产生大量的热量,需要通过冷却系统来散热,以保持设备正常运行。
 
  9.根据不同的应用需求,可以在上增加其他功能,如旋转样品台、壁喷淋洗净、离子束辅助刻蚀等。
 
  10.刻蚀完成后,关闭刻蚀气体进气阀和真空抽气系统,排出气体,将样品取出。
等离子刻蚀机
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