国产等离子清洗机的核心结构围绕等离子体生成与样品处理需求设计，主要包含以下模块：
①控制单元
采用半自动、全自动、PC电脑或液晶触摸屏控制方式，实现参数调节、设备监控及故障诊断。部分机型支持PLC控制，确保操作精度与稳定性。
②真空腔体
由不锈钢或石英材质制成，提供稳定的真空环境。腔体容积根据处理需求设计，可容纳单件或多件样品，支持平行电极板布局以提升处理均匀性。
③等离子体发生器
通过射频电源(如13.56MHz)或微波电源激发气体(如氩气、氧气)生成等离子体，包含离子、电子、活性基团等高活性物质。
④真空系统
配备干式泵或油泵，维持腔体真空度(约100Pa)，确保等离子体稳定生成。系统集成真空计、电磁阀等组件，实现真空度准确控制。
⑤气体输送系统
通过流量控制器准确导入工艺气体(如氧气用于氧化、氮气用于惰性保护)，支持多气体混合处理以适应不同工艺需求。
国产等离子清洗机通过以下步骤实现样品表面处理：
真空环境建立：真空泵将腔体气体抽至设定真空度，为等离子体生成提供条件。
等离子体激发：射频电源在腔体内产生高压交变电场，激发气体分子离化为等离子态，生成包含离子、电子、活性基团的高活性物质。
物理轰击：高能离子撞击样品表面，去除附着污染物(如油脂、微颗粒)。
化学反应：活性基团(如氧自由基)与表面有机物反应，生成挥发性物质(如CO?、H2O)，被真空泵抽离。
表面改性：等离子体中的自由基与表面分子反应，引入极性基团(如羟基、羧基)，提升表面能，改善润湿性、粘附性。
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