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等离子去胶机的真空系统由机械泵、分子泵构成

等离子去胶机通过等离子体技术实现材料表面光刻胶或有机污染物的去除,其核心功能依赖于多个精密部件的协同工作。真空腔室是其核心区域,为等离子体生成与材料处理提供密闭环境。腔体通常采用耐腐蚀材料(如不锈钢或石英)制造,内部配备承片台用于固定样品。处理过程中,腔室压力需降至1-100帕斯卡范围,以降低气体分子密度,促进电离反应。部分机型采用铰链侧开门结构,配备观察窗,便于操作监控与维护。等离子去胶机的气体导入系统负责向真空腔室输送工艺气体(如氧气、氩气或混合气体),其关键功能包括:气...

  • 2023

    3-2

    Pluto30是专为研发而设计的全功能等离子体系统,13.56MHz射频发生器和自动匹配网络电源在整个过程区域产生均匀的等离子体。Pluto30的真空腔可支持多达7个可调节样品架,以容纳各种形状尺寸的样品。Pluto30具有多种电极设置,可配置成RIE和PECVD模式,从而扩大了该系统的应用范围,提供给用户良好的灵活性。复旦大学高分子系老师希望用该设备进行等离子体化学反应的实验,即利用设备产生的等离子体在真空泵和气体阀门关闭的情况下与真空腔内的物质进行化学反应,然后获取化学反...

  • 2023

    2-28

    清华大学调研了众多等离子表面处理设备,最终选择了上海沛沅生产的Pluto-T等离子清洗机/表面处理机。根据客户的技术要求,提供了可以满足老师所有技术参数要求的Pluto-T等离子清洗机/表面处理机,以下为该设备的安装调试图。上海沛沅仪器生产的Pluto-T等离子清洗机/等离子处理机是一款桌面式等离子设备,具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。有效地清除样品表面的...

  • 2023

    2-28

    中国科学技术大学(UniversityofScienceandTechnologyofChina),位于安徽省合肥市,是中国科学院直属的一所以前沿科学和高新技术为主,兼有医学、特色管理和人文学科的综合性全国重点大学,中央直管副部级建制,由中科院、教育部和安徽省三方重点共建;建设高校A类、985工程、211工程,入选珠峰计划、强基计划、111计划、2011计划、中国科学院知识创新工程、国家建设高水平大学公派研究生项目、全国深化创新创业教育改革示范高校、中国政府奖学金来华留学生接...

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