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在现代科研和精密制造领域,我们常常需要对材料表面进行其的清洁。普通的水洗、酒精擦洗甚至超声波清洗,有时都无法满足要求,特别是当处理的对象是微小的芯片、精密的医疗...
[查看详情]等离子处理机是一种利用等离子体(电离气体)对材料表面进行物理化学改性的技术设备,其核心原理是通过高频电场或微波激发气体形成等离子体,利用其中的高能粒子(如电子、离子、自由基)与材料表面发生反应,实现清洁、活化、改性或涂层沉积等功能。等离子体生成:通过高频交流电场或微波激发气体(如氩气、氮气、氧气、压缩空气),使其电离形成由带电粒子(电子、离子)和中性粒子(原子、分子、自由基)组成的等离子体。低温等离子体(常压或真空环境)是表面处理的主流,避免高温损伤材料主体。物理溅射:高能粒...
[查看详情]应用案例
等离子清洗特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等都能很好地进行超清洗。
图为PLUTO-T等离子清洗机对陶瓷基板上银氧化层的清洗实例。
等离子清洗机可用于晶圆或者电路板表面的光刻胶去除,以及去除光学元件、半导体元件表面的光阻材料等。
图为PLUTO-MD等离子去胶机对PCB板和硅片的去胶实例。
改善粘合力-用于光学元件、生物医学、封装领域等;
表面改性-用于高分子材料表面修饰、PDMS微流控芯片键合、玻璃等,增强表面粘附性、浸润性、相容性;
图为PLUTO-M对线路板、橡胶管和手机膜的表面改性实例。
等离子刻蚀是干法刻蚀中常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。